単結晶ダイヤモンドの固体相CMP加工 Single crystal diamond Solid Chemical Processing

固体相CMPダイヤモンド加工

FTLのダイヤモンド加工は、固定砥粒を用いて実現した単結晶ダイヤモンド加工。FTLの超平坦加工技術は、電子を引き付けながら、原子間のつながりを切るため、被削材へのダメージを極小化。また、超平坦加工技術の活用により、研削面の広さに関わらず、ミクロン単位での加工精度・加工速度を実現。